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高真空機組往往需要三級機組的另一個原因歸結(jié)于高真空泵的吸入壓力的限制。泵都有起始工作壓強,傳統(tǒng)的高真空泵都在幾Pa的范圍。因此前級泵必須預抽到這一壓力主泵才能開始工作。但直排大氣的前級泵抽至這一壓力往往需要較長的時間,因為隨著壓力降低泵的抽速在減小,特別是對于周期性抽氣的真空機組,對達到工作真空度的時間是有要求的,預抽時間越長,進入工作真空度的時間也越長,故增加一臺中真空泵與前級低真空泵配合,可在較短的時間達到主泵可以工作的壓力,這樣可以使系統(tǒng)盡快地進入工作壓力,保證了設(shè)備的使用效率。阿爾卡特真空泵維護
真空泵是一個量大面廣的產(chǎn)品,產(chǎn)量很大,產(chǎn)值不高,但它確實是一個直接影響到真空成套設(shè)備性能質(zhì)量的bi不可少的基礎(chǔ)產(chǎn)品。真空泵的市場根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動態(tài)變化。市場增長的主要驅(qū)動力來自于半導體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應用領(lǐng)域的日益擴大。阿爾卡特真空泵維護
在我國,真空泵是一個量大面廣的產(chǎn)品,但是雖然它的產(chǎn)量很大,但是產(chǎn)值卻不高。雖然真空泵是一個直接影響到真空成套設(shè)備性能質(zhì)量bi不可少的基礎(chǔ)產(chǎn)品,不過在真空泵產(chǎn)品的高duan領(lǐng)域.,國產(chǎn)品牌真空泵并不多,大量的市場份額被進口企業(yè)所把持。阿爾卡特真空泵維護
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分子泵的安裝位置在主軸承的前端,可以避免發(fā)生振動,同時保證了機器的正常運轉(zhuǎn)。分子泵的安裝位置與主軸承相似。機電設(shè)備檢測。1)電源分別是dca-5a、dca-5v。電源接地是a)輸入端電流不得超過1ma,不允許使用外部電源;b)接地線不得超過25v。a)輸出端電流不得超過1ma,不允許使用外部電源;b)接地線的接地線應與主軸承相同。a.輸入端電流應為dca-5v。b.輸出端電壓不得超過0v。c)接地線不得低于05v。d)接地線應與主軸承相同。e)機器的外部電源和機械設(shè)備安裝在主軸承上?;け镁S修
從軸承特性上區(qū)分,分子泵大致可分為以下三類:
1.油潤滑分子泵
2.脂潤滑分子泵
3. 磁懸浮分子泵
油潤滑分子泵特點:軸承用油潤滑。
現(xiàn)在大部分渦輪分子泵轉(zhuǎn)子都用油潤滑軸承。因為這種軸承在轉(zhuǎn)子的排氣側(cè),所以油蒸汽不會到達渦輪分子泵的入口?;け镁S修
在工作壓強的高壓端,通過軸承的油流可用來散失掉氣體摩擦熱。在低壓下主要是油的摩擦本身造成轉(zhuǎn)子溫度。
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泵殼內(nèi)注有循環(huán)水,在抽真空時,葉輪旋轉(zhuǎn),在離心力的作用下,泵殼內(nèi)的循環(huán)水被甩至葉輪四周,在泵殼內(nèi)壁形成一個旋轉(zhuǎn)水環(huán)。又因葉輪是偏心安裝在泵殼內(nèi)的,因此水環(huán)與牙狀葉片之間形成的空間大小不同。進口真空泵維修
飛輪變形或螺桿磨損
長期使用后,泵內(nèi)部機械部件可能出現(xiàn)變形或損壞,從而影響泵的效率和性能。如飛輪變形或螺桿磨損,會導致泵的振動、噪音和效率下降,此時需要拆除故障部件并更換新的零部件。進口真空泵維修
真空泵的工作壓力應該滿足工藝工作壓力要求,選型時真空度要高于真空設(shè)備真空度的半個到一個數(shù)量級。(如:真空工藝要求100Pa的真空度,選用真空泵的真空度至少要50Pa-10Pa)。一般如果要求jue對壓強高于3300Pa,則優(yōu)先選擇水環(huán)式真空泵作為真空裝置,如果jue對壓強要求低于3300Pa,則不能選擇水環(huán)式真空泵,選擇旋片式真空泵或更高真空級別的真空泵作為真空獲得裝置。
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